Методы диагностики технологии получения гетероструктур эпитаксией из м

Методы диагностики технологии получения гетероструктур эпитаксией из молекулярных пучков

• Студенты III-V курсов.
• 4 человека в неделю.
• В работе рассмотрены физические основы и особенности применения в технологии МЛЭ дифракции быстрых электронов (ДБЭ) и квадрупольной масс-спектрометрии (КМС). Оба метода используются непосредственно в процессе выращивания эпитаксиальных структур. ДБЭ дает информацию о кристаллической структуре и морфологии приповерхностных слоев образца, наличии и типе структурных перестроек на поверхности в зависимости от режимов обработки образцов. КМС позволяет регистрировать парциальный состав остаточных газов в сверхвысоковакуумной ростовой камере, а также изотопный и молекулярный состав испаряемых для синтеза гетероструктур веществ.
• Используемые в работе физико-аналитические приборы встроены в установку молекулярно-лучевой эпитаксии 'Цна-18', имеющую предельное давление остаточных газов 1 х10-8 Па. Обьектами для исследования являются гетероструктуры GаАs/АlGаАs.
• Регистрация и обработка картин ДБЭ на различных этапах эпитаксиального процесса проводится с помощью персонального компьютера.
• Руководитель: Садофьев Ю.Г., контактные телефоны; 132-66-86, 532- 99-89. Е-mail: sadofyev@sci.lebedev.ru