Эллипсометрия

Эллипсометрия

• Рекомендуемый курс лекций: 'Экспериментальные методы квантовой радиофизики' для студентов III, IV курсов.
• Пропускная способность: один студент в два занятия.
• Физическая проблема: Параметры эллиптически поляризованного света. Отражение света от границы двух диэлектриков. Поляризация света при полном внутреннем отражении и ее угловая зависимость. Отражение света от металла. Исследование электронных характеристик металлов по поляризации отраженного света.
  Цель данной работы состоит в:
  а) получении информации о
  - эллиптической поляризации света
  - трансформации поляризации при отражении от границ раздела двух диэлектриков
  - трансформации поляризации при отражении света от металлических поверхностей
  - методах измерения эллиптической поляризации и конструкциях эллипсометров
  б) получении навыков
  - в юстировке эллипсометра
  в) изучении
  - метода построения эллипсометрических зон
  - угловых зависимостей параметров эллиптической поляризации света, отраженного от различных границ раздела
  В работе студент самостоятельно осуществляет юстировку эллипсометра, работающего по схеме поляризатор-компенсатор-образец-анализатор, проводит измерения параметров эллиптически поляризованного света, отраженного от границы воздух-стекло, от границы стекло-воздух, а также от поверхности золота и поверхности серебра. В двух последних случаях с использованием полученных значений параметров поляризации вычисляются основные электронные характеристики указанных выше металлов.
• Эллипсометр ЛЭФ-3М, стеклянные пластинки., серебряные и золотые эеркала.
• Конструкция заводского эллипсометра обеспечивает измерения поляризации при фиксированных углах в интервале 45-90 градусов и возможность автоматизации и компьютеризации не предусмотрена в конструкции в принципе.
• Контактные телефоны: Рагозин Е.Н. 132-63-29; Масалов А.В. 132-67-60.